本文件规定了半导体行业用电子级四甲基硅烷的技术要求、检验规则、包装、标志、随货资料、运输、贮存及安全警告的要求,描述了相应的检测方法。
本文件适用于沉积氧化硅、碳化硅等硅基薄膜的电子级四甲基硅烷,作为集成电路的刻蚀硬掩层、介电层等功能层;也适用于高纯电子清洗剂和标准试剂的电子级四甲基硅烷。
标准编号：GB/T 46699-2025
标准名称：电子级四甲基硅烷
英文名称：Electronic grade tetramethylsilane
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2025-10-31
实施日期：2026-05-01
文档格式：PDF
文档页数：16页
文档大小：571.04KB
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