本文件规定了高温工艺用硅制晶舟的外形结构、硅材料要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和质量承诺。
本文件适用于硅单晶、硅多晶以拼接、熔接方式加工而成的,主要用于氧化、扩散、退火以及化学气相沉积工艺,直径150~350mm的硅制晶舟。
标准编号：T/ZJBDT 010-2025
标准名称：高温工艺用硅制晶舟
发布部门：浙江省半导体行业协会
发布日期：2025-12-05
实施日期：2025-12-05
文档格式：PDF
文档页数：11页
文档大小：418.62KB
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