本文件规定了电子级混合气体的配制或制备的基本要求、设备设施要求、技术要求、配制要求,标志、包装及使用要求。
本文件适用于电子级混合气体的配制或制备。
标准编号：T/CCGA 30009-2025
标准名称：电子级混合气体配制技术要求
发布部门：中国工业气体工业协会
发布日期：2025-04-25
实施日期：2025-05-25
文档格式：PDF
文档页数：7页
文档大小：348.00KB
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