本文件规定了可循环利用的溅射后高纯金属靶材的检验流程、检验内容和结果判别。
本文件适用于可循环利用的溅射后高纯金属靶材的检验。
标准编号：SN/T 5822-2025
标准名称：可循环利用的溅射后靶材检验 高纯金属靶材
发布部门：中华人民共和国海关总署
发布日期：2025-07-25
实施日期：2026-02-01
起草单位：广州海关技术中心、宁波海关、中国有色金属工业协会再生金属分会、中国环境科学研究院、中国海关科学技术研究中心、宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、福建阿石创新材料股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司
起草人员：肖前、周君龙、唐志锟、钟步江、萧达辉、任飞、郑建国、张震坤、刘巍、张华、赵彤、陈立国、杨飞、朱晓东、王学泽、何金江、张科、朱赞芳、钟伟华
文件格式：PDF
文件页数：15页
文件大小：1.90 MB
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