本文件描述了蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法。
本文件适用于蓝宝石图形化衬底表面单个图形和图形阵列几何参数的测定。
标准编号：GB/T 47089-2026
标准名称：蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的测定方法
英文名称：Test method for determining geometrical parameters of patterns on patterned sapphire substrate
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2026-01-28
实施日期：2026-08-01
起草单位：广东中图半导体科技股份有限公司、徐州美兴光电科技有限公司、京东方华灿光电股份有限公司、天通银厦新材料有限公司、松山湖材料实验室、南京同溧晶体材料研究院有限公司
起草人员：张能、米波、肖桂明、朱晶、王子荣、朱广敏、康凯、鲁雅荣、王新强、徐军、袁冶
文件格式：PDF
文件页数：12页
文件大小：3.27 MB
标准全文下载：
文档首页截图如下：
 |
声明：
1、内容来自用户上传，仅供会员交流学习，禁止用于商业用途,下载后请在24小时之内删除；
2、如涉及侵权问题，请立即告知本站(std_123@foxmail.com)，本站将及时删除并致以最深的歉意；
