本文件规定了氮化铝单晶抛光片(以下简称“抛光片”)的牌号与分类、技术要求、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容,描述了相应的试验方法。
本文件适用于微波功率器件用直径为25.4mm 和50.8mm 的抛光片的生产、检验及质量评价。
标准编号：GB/T 47097-2026
标准名称：氮化铝单晶抛光片
英文名称：Polished monocrystalline aluminum nitride wafers
发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期：2026-01-28
实施日期：2026-08-01
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、奥趋光电技术（杭州）有限公司、北京中材人工晶体研究院有限公司、江苏第三代半导体研究院有限公司、北京大学、深圳大学、北京大学东莞光电研究院、中电晶华（天津）半导体材料有限公司
起草人员：张丽、何烜坤、程红娟、王英民、贺东江、李素青、姚康、吴亮、周振翔、王琦琨、齐海涛、于彤军、武红磊、王新强、李明达
文件格式：PDF
文件页数：14页
文件大小：326.26 KB
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