本文件规定了硅舟的产品分类、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存以及质量承诺。
本文件适用于硅单晶、硅多晶加工成的应用于氧化、扩散、退火及化学气相沉积(CVD)工艺直径150 mm~350 mm的拼接式、熔接式硅舟。
标准编号：T/ZZB 3947-2025
标准名称：硅舟
发布部门：浙江省质量协会
发布日期：2025-12-20
实施日期：2025-12-31
起草单位：杭州盾源聚芯半导体科技有限公司、浙江盾源聚芯半导体科技有限公司、杭州中欣晶圆半导体股份有限公司、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
起草人员：刘志彪、祝建敏、密思、郑小松、范明明、祝军、周波、李熊、龚益文、王双玉、刘永南、王少凡、田怡晨、王猛、林霜、陈东、丁纺纺、安振波、谢世伟、谢龙成、叶杭峰、李丽明、毛丽宏、曾晓峻、石江全、陆金宝、姜财贵、葛自荣、王世泽、俞凯鑫、童政远、赵丹青
文件格式：PDF
文件页数：12页
文件大小：577.32 KB
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