本文件规定了洁净室及相关受控环境微振动控制的方法和措施、材料、作业、检测和监测要求。
本文件适用于洁净室及相关受控环境的微振动控制。
标准编号:GB/T 47506-2026
标准名称:洁净室及相关受控环境 微振动控制技术要求
英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments—Technical requirements for microvibration control
发布部门:国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:2026-04-30
实施日期:2026-11-01
起草单位:中国电子工程设计院股份有限公司、中国电子系统工程第四建设有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、武汉华康世纪洁净科技股份有限公司、中国工程物理研究院激光聚变研究中心、中国标准化协会、亚翔系统集成科技(苏州)股份有限公司、中铁上海设计院集团有限公司、中国电子系统工程第三建设有限公司、中建研科技股份有限公司、上海市室内环境净化行业协会、中国计量科学研究院、上海朗脉洁净技术股份有限公司、湖南省计量检测研究院、惠瑞净化科技(江苏)有限公司、信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司、北京中科航建环境工程技术有限公司、关音实业(上海)有限公司
起草人员:袁晓东、吴耀辉、郝胤博、秦敬伟、吕佐超、董连东、林新智、霍金鹏、佟昊、李锡伟、王伟、汪洪军、黄荷、王伟伟、白冰、王芳、范军琳、孙炎、陈宁、张琦龙
文件格式:PDF
文件页数:16页
文件大小:349.43 KB
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