本文件规定了车规级MEMS半导体气体传感器的分类、基本参数、性能要求、试验方法。
本文件适用于采用MEMS工艺制作的车规级MEMS半导体气体传感器的设计、生产和检验。包括车内/外空气质量传感器、车载人体呼出气体传感器、汽车尾气传感器、新能源车动力安全气体传感器(如车用动力电池安全气体传感器和燃料电池车安全气体传感器)等。
标准编号:GB/T 47753-2026
标准名称:微机电系统(MEMS)技术 车规级MEMS半导体气体传感器技术规范
英文名称:Micro-electro mechanical systems(MEMS)technology—Technical specification of automotive MEMS semiconductor gas sensor
发布部门:国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:2026-07-02
实施日期:2027-02-01
起草单位:苏州慧闻纳米科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、东风汽车集团股份有限公司、比亚迪汽车工业有限公司、上海矽睿科技股份有限公司、北京信息科技大学、重庆渝微电子技术研究院有限公司、北京智芯微电子科技有限公司、湖北省产品质量监督检验研究院、北京智芯传感科技有限公司、机械工业仪器仪表综合技术经济研究所、武汉理工大学、北京大学南昌创新研究院、东南大学、无锡芯感智科技股份有限公司、苏州市计量测试院、上海芯物科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、华中科技大学、苏州感闻安全科技有限公司、中国汽车技术研究中心有限公司
起草人员:孙旭辉、张平平、李根梓、洪志强、孙亚轩、张幸伟、尤睿、徐冬梅、方东明、姚远、张亚婷、朱敏杰、刘俐、胡永刚、陈得民、魏向阳、周再发、杨绍松、耿彦红、王家聪、漆奇、段国韬、柳亮、田鑫、冯军、姚鹏、曹冬冬
文件格式:PDF
文件页数:22页
文件大小:496.68 KB
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