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DB31/ 506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额

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发表于 2021-12-19 13:58:30 | 显示全部楼层 |阅读模式
本文件规定了集成电路晶圆制造过程的单位产品能源消耗(以下简称能耗)限额的技术要求、统计范围、计算方法、节能管理与措施。
本文件适用于集成电路晶圆制造企业单位产品能耗的计算与考核,以及对新建及改扩建项目的能耗控制。
本文件不适用于12英寸40 nm及以下工艺制程的集成电路制造企业。

标准编号:DB31/ 506-2020
标准名称:集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额
英文名称:The norm of energy consumption per unit product of wafer fabrication in integrated circuits
发布部门:上海市市场监督管理局
发布日期:2020-09-25
实施日期:2020-12-01
标准状态:现行
替代情况:替代DB31/ 506-2010
起草单位:上海市集成电路行业协会、上海市能效中心、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、上海华力微电子有限公司、台积电(中国)有限公司、上海先进半导体制造有限公司、上海新进半导体制造有限公司、上海新进芯微电子有限公司
起草人员:陶金龙、闵钢、秦宏波、石建宾、杨晓春、张大炜、范晶、姚弘珏、翟静、陈勇、陈继红
文件大小:247.47KB
文件格式:PDF
文件页数:8页

标准全文下载:
DB31 506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额.pdf (247.47 KB)

封面截图如下:
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