本文件规定了集成电路晶圆制造过程的单位产品能源消耗（以下简称能耗)限额的技术要求、统计范围、计算方法、节能管理与措施。
本文件适用于集成电路晶圆制造企业单位产品能耗的计算与考核，以及对新建及改扩建项目的能耗控制。
本文件不适用于12英寸40 nm及以下工艺制程的集成电路制造企业。
标准编号：DB31/ 506-2020
标准名称：集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额
英文名称：The norm of energy consumption per unit product of wafer fabrication in integrated circuits
发布部门：上海市市场监督管理局
发布日期：2020-09-25
实施日期：2020-12-01
替代情况：替代DB31/ 506-2010
起草单位：上海市集成电路行业协会、上海市能效中心、上海华虹宏力半导体制造有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、上海华力微电子有限公司、台积电(中国)有限公司、上海先进半导体制造有限公司、上海新进半导体制造有限公司、上海新进芯微电子有限公司
起草人员：陶金龙、闵钢、秦宏波、石建宾、杨晓春、张大炜、范晶、姚弘珏、翟静、陈勇、陈继红
文件大小：247.47KB
文件格式：PDF
文件页数：8页
标准全文下载：
封面截图如下：
 |
声明：
1、内容来自用户上传，仅供会员交流学习，禁止用于商业用途,下载后请在24小时之内删除；
2、如涉及侵权问题，请立即告知本站(std_123@foxmail.com)，本站将及时删除并致以最深的歉意；
