本标准规定了真空离子镀膜设备(以下简称设备)的型式与基本参数、技术要求、设备检验及其品质评价、质量承诺以及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于电弧蒸发离子镀膜设备;电子束蒸发离子镀膜设备;磁控溅射离子镀膜设备;上述三类离子镀膜设备的组合。其它类型的具有离子镀膜特征的设备可参照执行本标准。
标准编号:JB/T 8946-2010
标准名称:真空离子镀膜设备
英文名称:Vacuum ion coating plant
发布部门:工业和信息化部
发布日期:2010-02-11
实施日期:2010-07-01
替代情况:替代JB/T 8946-1999
起草单位:大连远东真空技术有限公司、沈阳北宇真空设备厂、沈阳真空技术研究所
文件格式:PDF
文件页数:9页
文件大小:2.42MB
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