本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。
本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻,以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。
标准编号:HG/T 4509-2013
标准名称:工业高纯氢氟酸
英文名称:High purity hydrofluoric acid for industrial use
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:2013-10-17
实施日期:2014-03-01
文件格式:PDF
文件页数:12页
文件大小:281.65KB
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