本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型号、形式和基本参数﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则及标志﹑包装﹑运输﹑贮存等要求。
本标准适用于极限压力在5×10-4 Pa~5×10-3 Pa范围内的真空蒸发镀膜设备。
标准编号:JB/T 6922-2015
标准名称:真空蒸发镀膜设备
英文名称:Vacuum evaporation coating plant
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:2015-10-10
实施日期:2016-03-01
替代情况:替代JB/T 6922-2004
起草单位:中山凯旋真空技术工程有限公司、湖南玉丰真空科学技术有限公司、东莞劲胜精密组件股份有限公司、肇庆市科润真空设备有限公司、东莞市汇成真空科技有限公司、大连远东真空技术有限公司、沈阳真空技术研究所
文件格式:PDF
文件页数:9页
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