本文件规定了微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,以下简称MEMS)材料腐蚀芯片及传感器的选材的基本原则、常用材料类型及其性能要求,以及材料评价方法。
本文件适用于 MEMS 材料腐蚀芯片及传感器在设计、制造与材料选型过程中的材料选择与性能评价,其他类型的材料腐蚀传感器也可参照使用。
标准编号：T/CSCP 0059.2-2025
标准名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第2部分：选材与评价
发布部门：中国腐蚀与防护学会
发布日期：2025-09-01
实施日期：2025-10-01
文档格式：PDF
文档页数：12页
文档大小：413.86KB
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发表于 2025-9-11 19:14:13