T/CEMIA 023-2021 半导体单晶硅生长用石英坩埚

显示全部楼层 · 发表于 2022-1-5 17:36:31

本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义，规定了规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。
本文件适用于以高纯石英砂(成分：二氧化硅)为原料，采用电弧熔融法生产，用于半导体单晶硅生长的石英坩埚。

标准编号：T/CEMIA 023-2021
标准名称：半导体单晶硅生长用石英坩埚
英文名称：Quartz crucible for semiconductor monosilicon growth
发布部门：中国电子材料行业协会
发布日期：2021-07-15
实施日期：2021-12-25
标准状态：现行
起草单位：内蒙古欧晶科技股份有限公司、锦州佑鑫石英科技有限公司、江西中昱新材料科技有限公司
起草人员：何文兵、陈曼、苏光都、杜兴林、李宗辉、王文庆、朱旦、李晓航、朱剑、徐晓军、王君伟、王慧、韩东、李秀英、钱宜刚、贾建亮、万鹏远、潘志华、杨军、周锐
文件大小：330.23KB
文件格式：PDF
文件页数：12页

标准全文下载：

TCEMIA 023-2021 半导体单晶硅生长用石英坩埚.pdf (330.23 KB)

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T/CEMIA 023-2021 半导体单晶硅生长用石英坩埚

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