T/CEMIA 024-2021 半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范

显示全部楼层 · 发表于 2022-1-5 17:49:01

本文件确立了半导体单晶硅生长用石英坩埚从业人员、生产设备、主要原辅材料、生产工艺、作业环境及产品质量管控的程序和总体原则。
本文件适用于半导体单晶硅生长用石英坩埚的生产过程。

标准编号：T/CEMIA 024-2021
标准名称：半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范
英文名称：Quartz crucible manufacturing practices for semiconductor monosilicon growth
发布部门：中国电子材料行业协会
发布日期：2021-07-15
实施日期：2021-12-25
标准状态：现行
起草单位：锦州佑鑫石英科技有限公司、内蒙古欧晶科技股份有限公司、江西中昱新材料科技有限公司
起草人员：陈曼、何文兵、苏光都、李宗辉、杜兴林、王文庆、朱旦、徐晓军、朱剑、李晓航、王君伟、王慧、韩东、李秀英、钱宜刚、贾建亮、万鹏远、潘志华、杨军、周锐
文件大小：301.59KB
文件格式：PDF
文件页数：9页

标准全文下载：

TCEMIA 024-2021.pdf (301.59 KB)

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T/CEMIA 024-2021 半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范

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