标准编号：T/CASAS 036-2025
标准名称：碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法 辉光放电质谱法
英文名称：Test method for purity of iso-static graphite components used in the growth of silicon carbide single crystals-Glow discharge mass spectrometry
发布部门：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
发布日期：2025-04-23
实施日期：2025-04-23
标准状态：现行
起草单位：赛迈科先进材料股份有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、湖南三安半导体有限责任公司、山东天岳先进科技股份有限公司、山西烁科晶体有限公司、山东大学、中国科学院半导体研究所、中电化合物半导体有限公司、杭州海乾半导体有限公司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
起草人员：屈睿航、周明、董博宇、吴厚政、杨牧龙、彭珍珍、徐建平、田涛、李殿浦、袁振洲、宁秀秀、侯晓蕊、杨弥珺、武雷、徐明升、张逊熙、张静、孔令沂、曾一平、李娟
文件大小：456.13KB
文件格式：PDF
文件页数：13页
发表于 2025-5-16 19:11:43
