本文件描述了氮化铝（AlN）抛光片光吸收系数的测试方法，包括原理、仪器设备、测试条件、样品、测试步骤、结果计算和测试报告。
本文件适用于氮化铝抛光片的光学质量控制和评估。氮化铝外延片可参照使用。
标准编号：T/CASAS 54-2025
标准名称：氮化铝晶片吸收系数测试方法
发布部门：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟
发布日期：2025-05-20
实施日期：2025-05-20
文档格式：PDF
文档页数：15页
文档大小：526.83KB
标准全文下载：
封面截图如下：
 |
声明：
1、内容来自用户上传，仅供会员交流学习，禁止用于商业用途,下载后请在24小时之内删除；
2、如涉及侵权问题，请立即告知本站(std_123@foxmail.com)，本站将及时删除并致以最深的歉意；
