T/ICMTIA 5.1-2020 集成电路用 ArF 干式光刻胶

发表于 2021-11-23 14:24:01 | 显示全部楼层 |阅读模式

本文件适用于集成电路用 ArF 干式光刻胶。
标准编号：T/ICMTIA 5.1-2020
标准名称：集成电路用 ArF 干式光刻胶
英文名称：ArF Dry photo resist for Integrated circuits
发布部门：中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期：2020-12-31
实施日期：2021-03-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
文件页数：10页
文件大小：335.50KB

标准全文下载：

TICMTIA 5.1-2020 集成电路用 ArF 干式光刻胶.pdf (335.5 KB)

文档首页截图如下：

T_ICMTIA

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