本文件适用于集成电路用ArF浸没式光刻胶。
标准编号：T/ICMTIA 5.2-2020
标准名称：集成电路用ArF浸没式光刻胶
英文名称：ArF immersion photo resist for integrated circuits
发布部门：中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期：2020-12-31
实施日期：2021-03-01
文件格式：PDF
文件页数：12页
文件大小：381.74KB
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