本文件规定了集成电路用氢氟酸的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。
本文件适用于集成电路制造过程中使用的氢氟酸。
分子式：HF
相对分子质量：20.01（按 2014 年国际相对原子质量）
标准编号：T/ICMTIA PC007-2021
标准名称：集成电路用氢氟酸
发布部门：中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期：2021-05-31
实施日期：2021-07-30
文件格式：PDF
文件页数：12页
文件大小：335.80KB
标准全文下载：
文档首页截图如下：
 |
声明：
1、内容来自用户上传，仅供会员交流学习，禁止用于商业用途,下载后请在24小时之内删除；
2、如涉及侵权问题，请立即告知本站(std_123@foxmail.com)，本站将及时删除并致以最深的歉意；
