本文件规定了4H及6H碳化硅单晶的必要的相关性术语和定义、产品分类、技术要求、检测方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本文件适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。产品主要用于制作半导体照明、电力电子器件、射频微波器件及LED发光器件的外延衬底。
标准编号：T/IAWBS 001-2021
标准名称：碳化硅单晶
发布部门：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
发布日期：2021-09-16
实施日期：2021-09-23
文件格式：PDF
文件页数：16页
文件大小：747.79KB
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