本文件规定了利用双晶 X 射线衍射仪测试碳化硅单晶片摇摆曲线半高宽的方法。本文件适用于物理气相传输及其它方法生长制备的碳化硅单晶片。本文件适用于在室温下碳化硅单晶片的正晶向和偏角度的摇摆曲线检测。
标准编号：T/IAWBS 016-2022
标准名称：碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法
发布部门：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
发布日期：2022-03-17
实施日期：2022-03-24
文件格式：PDF
文件页数：9页
文件大小：1.50MB
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