标准之家

 找回密码
 立即注册

QQ登录

只需一步,快速开始

搜索
热搜: 活动 交友 discuz

T/IAWBS 016-2022 碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法

[复制链接]
发表于 2022-3-27 09:27:30 | 显示全部楼层 |阅读模式
本文件规定了利用双晶 X 射线衍射仪测试碳化硅单晶片摇摆曲线半高宽的方法。本文件适用于物理气相传输及其它方法生长制备的碳化硅单晶片。本文件适用于在室温下碳化硅单晶片的正晶向和偏角度的摇摆曲线检测。
标准编号:T/IAWBS 016-2022
标准名称:碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法
发布部门:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
发布日期:2022-03-17
实施日期:2022-03-24
标准状态:现行
文件格式:PDF
文件页数:9页
文件大小:1.50MB

标准全文下载:
TIAWBS 016-2022.pdf (1.5 MB)

文档首页截图如下:
免责声明 1、本站所有资源均来自会员分享或网络收集整理,仅供会员交流学习,禁止用于商业用途,下载后请在24小时之内删除;
2、如本帖侵犯到任何版权问题,请立即告知本站(std_123@foxmail.com),本站将及时删除并致以最深的歉意;
回复

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册

本版积分规则

Archiver|手机版|小黑屋|标准之家

GMT+8, 2025-5-22 23:52 , Processed in 0.068771 second(s), 28 queries .

Powered by Discuz! X3.4

© 2001-2023 Discuz! Team.

快速回复 返回顶部 返回列表