本文件规定了立方金刚石单晶表面应力分布的测试方法。
本文件适用于立方金刚石单晶表面应力分布的测试。
标准编号：T/IAWBS 023-2025
标准名称：金刚石单晶表面应力分布测定 拉曼光谱法
发布部门：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
发布日期：2025-09-24
实施日期：2025-10-10
文档格式：PDF
文档页数：8页
文档大小：1.36MB
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